Ürün kategorisi
Bize ulaşın

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanyum Co, Ltd


Adres:

Bitki No.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Çin


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-posta:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



Servis hattı
029 3358 2330

Teknoloji

Ana sayfa > Teknolojiİçerik

Düzlemsel magnetron PVD kaplama


Düzlemsel magnetron PVD kaplama


Düzlemsel Magnetron, özünde, katot katot arkasında bir Daimi Mıknatıs dizi ilavesi ile SAÇTIRMA bir klasik "diyot" modudur. Manyetik alan kapalı bir yol elektrik alanına normaldir ve bir sınır "tünel" hangi hedef yüzeye yakın elektronlar tuzakları oluşturur böylece bu mıknatıs dizi ayarlandı. Bu elektron yakalama gaz iyon oluşumu daha etkili olmasını sağlar ve düşük gaz basıncı yüksek akım sağlayan deşarj plazma kısıtlar ve PVD (fiziksel Buhar biriktirme) kaplamalar için daha yüksek bir sputter ifade oranı elde.


Birkaç farklı Magnetron SAÇTIRMA katot/hedef şekilleri kullanılmıştır, ancak en yaygın dairesel ve dikdörtgen. Dikdörtgen magnetron en çok daha büyük ölçekli satırında Magnetron SAÇTIRMA nerede yüzeylerde doğrusal olarak geçmiş hedeflerini Konveyör bant veya taşıyıcı çeşit temel tarama sistemleri bulunur. Dairesel magnetron daha yaygın olarak daha küçük ölçekli Confocal toplu iş sistemleri veya tek gofret istasyonları küme araçları'nda bulunur.


Daha karmaşık desenler yapılabilir rağmen çoğu katotlar - hemen hemen tüm dairesel ve dikdörtgen olanlar da dahil olmak üzere - tam tersi bir kutup ve çevre olmak Merkezi ile basit konsantrik mıknatıs desen var. Dairesel Magnetron için bu arada nispeten küçük bir yuvarlak mıknatıs Merkezi ve bir annüler yüzük mıknatıs dışında bir boşluk ile etrafında Ters polarite ve olacaktır.


Dikdörtgen Magnetron biri normalde uzun eksenin bir bar merkezidir (ama daha az tam uzunlukta) arasında bir boşluk ile çevresindeki tüm yol Ters polarite bir dikdörtgen "çit" ile. Boşluğudur nerede plazma-ecek var olmak, dairesel bir halka dairesel Magnetron veya bir uzun dikdörtgen içinde "yarış pisti". Özellikle büyük katotlar, mıknatıslar tek parça yerine birkaç bireysel parça, olabilir.


PVD içinde kullanılan hedef katot kaplama malzeme ve malzeme kapalı dönüyor gibi hedef yüzünde bu karakteristik erozyon desenler görmek mümkün olacak. Aslında, eksik gibi herhangi bir mıknatıs sorun yanlış hizalanmış, olması durumunda veya baş aşağı, erozyon yolu anormal olur ve bu tür sorunlar Magnetron SAÇTIRMA katot içinde iyi bir tanı göstergesi olabilir.


Bireysel mıknatıslar kutup yönünü bir kutup merkezinde kurulan ve ters kutup çevre öyle ki olmalı. Bunu yapmanın yolu bir çift vardır. Mıknatıslar Kuzey/Güney kutup hedef uçak için dikey yüklemek için yaygın olarak kullanılır, bir kutup hedef ve diğer ucunu - "ücretsiz" sonuna doğru / pole - manyetik olarak diğer mıknatıslar bir kutup plaka köprü karşısında (normalde manyetik, yapılan Demir Çelik) malzeme.


Tam manyetik devre böylece onun karşısında Güney kutbu Kuzey Kutbu olan Güney Kutbu sonra açık olan başka bir manyetik malzeme ile birleştiğinde ile açık bir Kuzey Kutbu bir mıknatıs (veya bir zinciri tek parça olmasa bile bireysel mıknatıslar) olduğunu. Manyetik olarak açık biter yüz hedef ve elde edilen manyetik alan doğru karşısında bu iki arches yakalama, tünel konsantre plazma elektron oluşturmak için hedef yüzeyi üzerinde.


PVD Magnetron ya da manyetik hizalama ile çalışır - Merkezi Kuzey olabilir ve çevreyi güneye, ya da tersi olabilir unutmayın. Ancak, çoğu düzlemsel Magnetron SAÇTIRMA sistemleri, birden çok katotlar, birbirine oldukça yakın ve Kuzey yolunu yitirmek istemiyorum / Güney alanları hedefleri arasında oluşan.


Bu N/S Magnetron manyetik alanlar yalnızca istenen manyetik tünellerin orada şekillendirme hedefleri yüzler üzerinde olmalıdır. Bu nedenle, bu tamamen bir sistem tüm katotlar aynı şekilde, kendi parametreleri üzerinde tüm Kuzey veya kendi parametreleri üzerinde tüm Güney hizalandığından emin olmak için tercih edilir. Ve birden fazla sputter sistemi ile özellikleri için aynı şekilde katotlar mıknatıs hizalama hakkında önemsemeden sistemleri arasında güvenli bir şekilde değiştirilebilir böylece hepsi aynı olmaları için arzu edilir.


Dikkat edilecek diğer noktalar ve mıknatıslar ile ilgili seçenekleri vardır. Çoğu hedef materyalleri manyetik olmayan ve böylece gerekli manyetik alan şiddeti ile müdahale değil. Ama demir veya nikel gibi manyetik malzemeler fışkırtması, yüksek güçlü mıknatıslar, veya daha ince hedefleri ya da her ikisi de etkin bir şekilde manyetik hedef malzeme tarafından kısa devre yüzey manyetik alan zorunda kalmamak için gerekir.


Bunun ötesinde, hedef malzeme kullanım iyileştirmek veya dikdörtgen bir hedef asıl eksen boyunca tekdüzelik geliştirmek için manyetik güç ve boşluk boyutları, gibi mıknatıs ayrıntıları tasarlanabilir. Kalıcı mıknatıslar, yerine hangi dereceye manyetik alan programlanabilir kontrol gelemez, ama tabii ki, karmaşıklığı ve maliyeti artırmak elektro mıknatıslar kullanmak bile mümkündür.


Sputter katotlar normal su soğutmalı, genellikle doğrudan su soğutmalı, hedefle gümrüklü ya da kendisine sabitlenmiş olduğunu plaka yedekleme bir bakır içeren vardır. Ve birçok durumda mıknatıslar su ceketi su ile temas içinde bulunan hangi büyük olasılıkla da böyle katotlar kutup plaka bağlantı kurar.


Bu gibi durumlarda, bu nedenle korozyon mıknatıslar veya kutup plaka önlemek için uygun adımları için gerekli olur. Pole plakaları manyetik alaşımlar paslanmaz çelik, örneğin, korozyon, önlemek için sahte olduğu ve hangi onların kompozisyon bağlı olarak, aksi takdirde su maruz etkilenebilir mıknatıslar epoksi içinde plastik kapsüllü.


Düzlemsel magnetron ve yakın kuzenleri kelepçe-üzerinde hedef magnetron, kullanıcının izin basit diyot yapılandırma katotlar daha yüksek sputter ifade oranları elde etmek için iç metin. Onlar da bu parametre arzulanan gibi belirli film özellikleri elde etmek ek işlem ayarı için açabilir miyim daha düşük gaz basınçları, plazma sürdürmek mümkün vardır.


Çok çeşitli tür katotlar ve hedefleri işlemi gerektiğinde belirli yönlerini geliştirmek için çeşitli seçenekleri mıknatıs gücü ve düzeni dahil olmak üzere ticari olarak kullanılabilir. Magnetron PVD şaplatın işleme bir dayanak noktası haline gelmiştir.


Bir modern, iyi donanımlı tesisi ve ince film PVD kaplama işlemleri, malzeme ve uygulamaları hakkında çok değerli bilgi ileHaohai MetalPVD geliştirir müşterilerimiz çok rekabetçi avantajlar sunan çözümler kaplama, kaliteli imalat güvenilir bir ortak olduğumuzuhedefleri SAÇTIRMAve ark katotlar.


Haohai Metal (Haohai titanyum) kaplama malzemeleri çeşitli yapılandırma, dönebilen sputtering hedefleri, düzlemsel sputtering hedefleri, ark katotlar, buharlaşma malzemeleri ve malzemelerin potalar gibi geniş bir yelpazesi sağlartItaniumZirkonyumKromHafniyumNiyobyumTantalmolibdenSilikonTitanyum-alüminyumNikel-KromSilikon-alüminyumveKrom-alüminyum vb.